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標題: 快速熱處理對射頻磁控濺鍍法在矽基板上沈積之氧化釔薄膜之影響
Rapid Thermal Processed Thin Films of Y[feaf]O[feb0]Grown by R. F. Magnetron Sputtering
作者: 貢中元;洪瑞華;武東星;余建文
Contributors: 工學院
關鍵字: 氧化釔;射頻磁控濺鍍;快速加溫製程
日期: 1996-06
Issue Date: 2013-05-02 20:58:23 (UTC+8)
Publisher: 國立中興大學工學院;Airiti Press Inc.
Relation: 興大工程學報, Volume 7, Issue 2, Page(s) 33-39.
Appears in Collections:[依教師分類] 貢中元
[期刊-興大工程學刊(原興大工程學報)] 第07卷 第2期
[依教師分類] 武東星
[依教師分類] 洪瑞華
[依教師分類] 武東星
[依教師分類] 貢中元
[依教師分類] 武東星
[依教師分類] 洪瑞華

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