English  |  正體中文  |  简体中文  |  Items with full text/Total items : 43312/67235
Visitors : 2051607      Online Users : 31
RC Version 5.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU/NCHU Library IR team.
National Chung Hsing University Institutional Repository - NCHUIR > 理學院 > 奈米科學研究所 > 依資料類型分類 > 碩博士論文 >  銅銦鎵硒薄膜摻雜及未摻雜鈉元素對其物理特性影響之研究

Please use this identifier to cite or link to this item: http://nchuir.lib.nchu.edu.tw/handle/309270000/153001

標題: 銅銦鎵硒薄膜摻雜及未摻雜鈉元素對其物理特性影響之研究
Investigation on the physical properties of Cu(In1-x,Gax)Se2 films with or without sodium doping
作者: 郭翰鴻
Kuo, Han-Hung
Contributors: 龔志榮
Jyh-Rong Gong 龔志榮
奈米科學研究所
關鍵字: 銅銦鎵硒;二丁基硒;2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸鈉;物理特性量測
CIGS;DTBSe;[DPM]Na;physical properties
日期: 2013
Issue Date: 2013-11-18 11:43:28 (UTC+8)
Publisher: 奈米科學研究所
摘要: 本論文研究採用多階段硒化法(selenization)製備銅銦鎵硒Cu(Inx,Ga1-x)Se2(CIGS)薄膜。實驗使用二丁基硒(DTBSe)作為硒化氣體,將濺鍍在玻璃基板上之銅/銦/鎵金屬層進行硒化,再使用2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸鈉[DPM]Na作為摻雜氣體,將有機鈉氣體中的鈉元素摻雜於已硒化之CIGS薄膜,藉由改變摻雜溫度和氣體流量來完成CIGS薄膜之製備。CIGS薄膜之物理及光電特性分別使用X光繞射儀、光導量測、掃描式電子顯微鏡、二次離子質譜儀、拉曼量測與霍爾量測來鑑定。研究結果顯示採用DTBSe及[DPM]Na施行多階段溫度硒化及鈉摻雜製程所製備的CIGS呈現p-型導電特性且具有良好的薄膜品質。
Sodium(Na)-doped Cu(Inx,Ga1-x)Se2(CIGS) films were prepared on glass substrates by atmospheric selenization process using di-tert-butyl selenide(DTBSe) and dipivaloylmethanato sodium[DPM]Na. Purified N2 was utilized to serve as carrier gas. The physical properties of CIGS films were investigated by x-ray diffractometry(XRD), photoconductivity measurement(PC), Scanning electron microscopy(SEM), secondary ion mass spectroscopy(SIMS), raman spectroscopy(RS), and Hall measurement. It was found that the p-type CIGS films prepared by 5-step DTBSe selenization and those doped with sodium exhibited good crystalline properties. The Na-doped CIGS films also show similar transport data to the Na-doped CIGS films using NaF or Na2Se.
Appears in Collections:[依資料類型分類] 碩博士論文

Files in This Item:

File SizeFormat
index.html0KbHTML115View/Open


 


學術資源

著作權聲明

本網站為收錄中興大學學術著作及學術產出,已積極向著作權人取得全文授權,並盡力防止侵害著作權人之權益。如仍發現本網站之數位內容有侵害著作權人權益情事者,請權利人通知本網站維護人員,將盡速為您處理。

本網站之數位內容為國立中興大學所收錄之機構典藏,無償提供學術研究與公眾教育等公益性使用。

聯絡網站維護人員:wyhuang@nchu.edu.tw,04-22840290 # 412。

DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU/NCHU Library IR team Copyright ©   - Feedback