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標題: (2001 年中華民國鍍膜科技研討會,p117-p120)以MIC 及RTA 結合MIC 對ECR-CVD 沉積微晶矽薄膜的結晶化之研究
作者: 江雨龍;陳麗霞;巫文豪;吳佳龍;林光祥;張立勳;廖一遂
Contributors: 江雨龍
Yeu-Long Jiang
國立中興大學光電工程研究所
關鍵字: MIC;RTA;ECR-CVD;微晶矽薄膜;結晶化
日期: 2001-08
Issue Date: 2010-03-30 10:21:51 (UTC+8)
Publisher: 彰化縣:台灣鍍膜科技協會
Relation: 2001 年中華民國鍍膜科技研討會, Page(s) 117-120.
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[依資料類型分類] 學術性活動資料
[依教師分類] 江雨龍

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