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標題: (2000 IEDMS Symposium A,p218-p221)Low dielectric constant and high thermal stability fluorinated amorphous carbon films
作者: Y. L. Jiang;K. S. Wu;K. S. Lin;L. H. Chen;W. H. Wu;C. H. Wu;Y. S. Liao;L. H.Chang
Contributors: 江雨龍
Yeu-Long Jiang
國立中興大學光電工程研究所
關鍵字: Low dielectric constant;high thermal stability;amorphous carbon films
日期: 2000-12
Issue Date: 2010-03-30 10:22:00 (UTC+8)
Relation: 2000 IEDMS Symposium A, Page(s) 218-221.
Appears in Collections:[依資料類型分類] 學術性活動資料

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