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標題: (2000中華民國鍍膜科技研討會,p174-p177)脈波調變射頻電漿沉積氟化非晶碳薄膜
作者: 江雨龍;吳貴盛
Contributors: 江雨龍
Yeu-Long Jiang
國立中興大學光電工程研究所
關鍵字: 脈波調變射頻電漿;沉積;氟化非晶碳薄膜
日期: 2000-09
Issue Date: 2010-03-30 10:22:29 (UTC+8)
Publisher: 彰化縣:台灣鍍膜科技協會
Relation: 2000中華民國鍍膜科技研討會, Page(s) 174-177.
Appears in Collections:[依教師分類] 江雨龍
[依資料類型分類] 學術性活動資料
[依教師分類] 江雨龍

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